二戰(zhàn)后半個(gè)世紀(jì)是現(xiàn)代科技高速發(fā)展的時(shí)期,人類經(jīng)過半個(gè)世紀(jì)的努力,無論在農(nóng)業(yè)、工業(yè)、醫(yī)藥、生物、宇宙探索、環(huán)境以及風(fēng)淋室基本理論研究等方面,都取得了偉大的成就。材料的高純度、產(chǎn)品的高精度及高可靠性是這一時(shí)期科技發(fā)展的特點(diǎn)。
超微細(xì)加工、裝配和測試,對(duì)諸如空氣潔凈、防微振、防電磁干擾、低噪聲以及對(duì)超純水、超純氣體等的嚴(yán)格要求,使由此產(chǎn)生的環(huán)境控制學(xué)得到了迅速發(fā)展??刂莆⒄駝?dòng)即防微振,是環(huán)境控制的一個(gè)重要組成部分。
防微振的重要性體現(xiàn)在各行各業(yè):例如感光化學(xué)工業(yè),彩色膠片乳劑層14個(gè)涂層總厚度僅19pLm,在涂布過程中由于微小的振動(dòng)將使乳劑涂層厚薄不勻,在膠片上產(chǎn)生橫紋;在慣導(dǎo)技術(shù)方面,為了提高導(dǎo)彈的打擊精度,準(zhǔn)確命中目標(biāo),需要對(duì)陀螺儀、加速度計(jì)及組合制導(dǎo)(衛(wèi)星、導(dǎo)航、地形匹配及景物匹配)系統(tǒng)的精度提出高的要求,這種高精度慣導(dǎo)系統(tǒng)的調(diào)試和檢測,必須在極為寧靜的環(huán)境中進(jìn)行;對(duì)于微電子工業(yè),線寬0. 1y.m(4G DRAM)產(chǎn)品已進(jìn)入市場,硅片加工中的光刻工序?qū)ξ⒄駝?dòng)的控制要求極為嚴(yán)格;其他如精密機(jī)械加工、光學(xué)器件檢測、激光實(shí)驗(yàn)、超薄金屬軋制以及理化風(fēng)淋室系列實(shí)驗(yàn)等都需要對(duì)微振動(dòng)進(jìn)行控制。